當(dāng)光源發(fā)出的光波照射到被測(cè)膜層時(shí)，一部分光波會(huì)在膜層表面反射，另一部分則穿透膜層并在其與基底的界面上再次反射回來(lái)。這些反射光之間因路徑差異形成干涉現(xiàn)象，日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測(cè)儀通過(guò)探測(cè)器接收并分析反射/透射光波的相位差，即可準(zhǔn)確計(jì)算出薄膜厚度。此方法適用于透明及不透明薄膜的測(cè)量。
 

　　日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測(cè)儀的測(cè)定步驟：
 

　　1.準(zhǔn)備工作
 

　　-安裝與通電：確認(rèn)儀器已經(jīng)正確安裝并接通電源。
 

　　-預(yù)熱儀器：開(kāi)啟儀器后，讓其預(yù)熱至穩(wěn)定狀態(tài)，以確保測(cè)量的準(zhǔn)確性。
 

　　-選擇校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)：挑選與待測(cè)材料相似的校準(zhǔn)塊，且校準(zhǔn)塊的厚度應(yīng)覆蓋待測(cè)材料的厚度范圍。
 

　　-設(shè)置校準(zhǔn)模式：依據(jù)儀器說(shuō)明書(shū)，選擇合適的校準(zhǔn)模式。
 

　　2.校準(zhǔn)操作
 

　　-校準(zhǔn)零點(diǎn)：將探頭放置在無(wú)涂層的基底材料上，進(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn)。
 

　　-校準(zhǔn)多點(diǎn)：把探頭依次放置在校準(zhǔn)塊的不同厚度位置，記錄儀器的讀數(shù)，并在每個(gè)校準(zhǔn)點(diǎn)上停留足夠時(shí)間，以獲取穩(wěn)定數(shù)值。
 

　　3.實(shí)際測(cè)量
 

　　-清潔樣品表面：保證待測(cè)樣品表面干凈、光滑，無(wú)灰塵、污垢或附著物，粗糙的表面會(huì)影響探頭與樣品的接觸，降低測(cè)量精度。
 

　　-定位測(cè)量點(diǎn)：避免在樣品的邊緣或轉(zhuǎn)角處進(jìn)行測(cè)量，盡量選擇平整、具有代表性的區(qū)域作為測(cè)量點(diǎn)。若使用管狀適配器連續(xù)測(cè)定平面，可使測(cè)量更穩(wěn)定。
 

　　-執(zhí)行測(cè)量：抓住與測(cè)定部接近的部分，迅速在與測(cè)定面成垂直的角度按下探頭進(jìn)行測(cè)量。每次測(cè)量要從探頭的前端測(cè)定面開(kāi)始離開(kāi)10mm以上。
 

　　-記錄結(jié)果：等待測(cè)量結(jié)果顯示完成后，記錄測(cè)量得到的薄膜厚度數(shù)值。根據(jù)需要，可重復(fù)上述步驟多次測(cè)量并取平均值，以提高測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。